信欧光电开发的Nanomotor系列压电纳米位移促动器，具有<30nm的分辨率，其小巧的体积和极低的重量使其在高精密定位中得到了广泛应用，比如半导体晶圆薄片的加工、生物细胞探针的纳米探测以及激光束光路稳定等等。这里，我们简要阐述其在激光光束稳定领域的应用。

　　我们采用了Nanomotor系列中的4个SNM01产品，其行程为13mm, 开环控制，分别装配于两个反射镜架上，用于对反射镜M1和M2进行角度调节。该光束稳定系统同时采用了两个四象限位置探测器QD1和QD2。 入射光束经M1反射到M2上的P1点，再经分光镜BS1和BS2分别将一部分光束反射入QD1和QD2，用以实时探测光束位置。QD1探测到的光斑位置信息将反馈给反射镜M1，通过调节M1上的2个Nanomotor促动器，从而控制M1镜片的角度，使得入射到M2上的光电P1保持恒定;同时，Q2探测到的光斑位置信息将反馈给反射镜M2，通过调节M2上的2个Nanomotor促动器，从而控制M2镜片的角度，使得从M2出射的光束一直沿水平方向传输。这样，就完全实现了激光束空间传输过程中指向恒定没有偏离，智能化地解决了激光或光学应用中的光束指向漂移的难题。